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晶圓自動(dòng)挑片機(jī)FST-SC100S

應(yīng)用于晶圓片在外延段生產(chǎn)完成后入庫(kù)，根據(jù)工單要求需要把與此工單對(duì)應(yīng)的晶圓片挑選整理匯總，以方便后制程芯片段生產(chǎn)。主要由Foup交替上料區(qū)、Cassette立體倉(cāng)儲(chǔ)、機(jī)器人自動(dòng)上下片組成。
設(shè)備參數(shù)
類(lèi)別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍
500pcs/h
產(chǎn)品良率≧99.5%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以?xún)?nèi)
設(shè)備尺寸L2.3m*W1.8m**H2.2m



設(shè)備優(yōu)勢(shì)

用途：晶圓片在外延段生產(chǎn)完成后入庫(kù)，根據(jù)工單要求需要把與此工單對(duì)應(yīng)的晶圓片挑選整理匯總，以方便后制程芯片段生產(chǎn)。

全自動(dòng)：高度智能信息化系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)上片Cassette自動(dòng)掃碼，晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)下片、自動(dòng)生成及打印下片Cassette Label，自動(dòng)貼附Label，Wafer ID與下片Cassette Label綁定LINK后上傳至MES。

高配置：CCD自動(dòng)檢測(cè)、著名品牌工業(yè)機(jī)器人、全過(guò)程伺服控制系統(tǒng)、全過(guò)程智能檢測(cè)系統(tǒng)。

高精度：晶圓片上下片重復(fù)定位精度可達(dá)到±0.1mm，±0.15度以?xún)?nèi)。

人性化：成熟先進(jìn)的自動(dòng)控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語(yǔ)音提醒，既滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程。

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