日韩一区二区三区精品_午夜爱爱免费视频体验区_国产一级丝袜在线电影_无码av中文字幕久久专区_影音先锋全部av女资源

Product Center
產(chǎn)品中心
首頁 > 產(chǎn)品中心> 半導(dǎo)體行業(yè)> MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

MOCVD AMHS 智能晶圓輸送系統(tǒng)FST-CP-AMHS-100(MO)

實現(xiàn)LED半導(dǎo)體工廠核心工藝設(shè)備MOCVD的晶圓倒片及晶圓傳輸?shù)闹悄芑詣游锪习崴拖到y(tǒng)。由如下設(shè)備和子系統(tǒng)組成：MOCVD晶圓倒片機，配置了防塵貨架的AGV，存儲石墨盤的電子貨架，和與MOCVD對接實現(xiàn)上下片功能的周轉(zhuǎn)單元。
設(shè)備參數(shù)
類別內(nèi)容
設(shè)備節(jié)拍（上片或下片）425pcs/h
產(chǎn)品良率
≥99.9%
設(shè)備精度晶圓片上下片重復(fù)定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以內(nèi)
MO倒片機尺寸L4.5m*W2.6m*H2.4m
周轉(zhuǎn)單元尺寸L2.7m*W1.85m*H2.4m
AGV尺寸根據(jù)具體功能定制
電子貨架尺寸根據(jù)具體功能定制


設(shè)備優(yōu)勢

全自動：AGV運載石墨盤根據(jù)調(diào)度系統(tǒng)指令自動在電子貨架、MO倒片機，周轉(zhuǎn)單元對接；

電子貨架存儲石墨盤且與中控系統(tǒng)實時通訊監(jiān)控石墨盤狀態(tài)；

MO倒片機實現(xiàn)自動上下石墨盤，Pocket自動清潔，晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動上片、可反流程實現(xiàn)自動下片，Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES；

周轉(zhuǎn)單元與MO設(shè)備無縫對接，實現(xiàn)自動上下石墨盤，收集MO腔體狀態(tài)信息于中控系統(tǒng)通訊；

高配置：CCD自動檢測、著名品牌工業(yè)機器人、全過程伺服控制系統(tǒng)、全過程智能檢測以及智能化操作系統(tǒng)等

人性化：成熟先進的自動控制技術(shù)，增加智能監(jiān)控，智能語音提醒，既滿足工業(yè)生產(chǎn)也兼顧人因工程

在線留言
  • 企業(yè)名稱：
  • 企業(yè)所屬類型：
  • 姓名：
  • 職務(wù)：
  • 電話：
  • 郵箱：
  • 詳細需求描述：
    *了解更多我司產(chǎn)品，請?zhí)顚憙?nèi)容，如果有合作機會，我們會在48小時內(nèi)主動與您取得聯(lián)系，謝謝!
驗證碼：